[发明专利]一种基于刚度补偿的MEMS闭环加速度计在审
| 申请号： | 201910261787.X | 申请日： | 2019-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN109946481A | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 雷龙海;周骏;王龙峰;王志;山永启 | 申请（专利权）人： | 四川知微传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/08;B81B7/02;B81B7/00 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 熊曦 |
| 地址： | 610000 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于刚度补偿的MEMS闭环加速度计，包括：关于加速度计中心对称的上半部分和下半部分，上半部分和下半部分均包括：基片，锚点固定在基片上，基片上设有绝缘层，绝缘层上设有敏感器件层，敏感器件层包括：敏感质量块、支撑梁、力反馈梳齿单元、检测梳齿单元、刚度补偿单元；上半部分和下半部分的敏感质量块上均设有第一镂空区域和第二镂空区域；第一镂空区域内安装有：支撑梁锚点、支撑梁、检测梳齿单元锚点、检测梳齿单元；第二镂空区域内安装有：支撑梁锚点、支撑梁、力反馈梳齿单元、力反馈梳齿单元锚点、刚度补偿单元、刚度补偿单元锚点；通过对加速度计刚度补偿结构的设计可以补偿工艺加工造成的机械刚度偏大的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 刚度补偿 梳齿单元 锚点 支撑梁 加速度计 镂空区域 力反馈 绝缘层 闭环 敏感质量块 敏感器件 检测 工艺加工 机械刚度 中心对称 | ||
【主权项】：
1.一种基于刚度补偿的MEMS闭环加速度计，其特征在于，所述加速度计包括：关于加速度计中心对称的上半部分和下半部分，其中，上半部分和下半部分均包括：基片，锚点固定在基片上，基片上设有绝缘层，绝缘层上设有敏感器件层，敏感器件层包括：敏感质量块、支撑梁、力反馈梳齿单元、检测梳齿单元、刚度补偿单元；上半部分和下半部分的敏感质量块上均设有第一镂空区域和第二镂空区域；第一镂空区域内安装有：支撑梁锚点、支撑梁、检测梳齿单元锚点、检测梳齿单元；支撑梁一端与敏感质量块连接，支撑梁另一端与支撑梁锚点连接；检测梳齿单元通过检测梳齿单元锚点固定在基片上，上半部分和下半部分的两个检测梳齿单元构成加速度计差动电容检测结构，对加速度信号引起的电容变化进行检测；第二镂空区域内安装有：支撑梁锚点、支撑梁、力反馈梳齿单元、力反馈梳齿单元锚点、刚度补偿单元、刚度补偿单元锚点；支撑梁一端与敏感质量块连接，支撑梁另一端与支撑梁锚点连接；力反馈梳齿单元通过力反馈梳齿单元锚点固定在基片上，上半部分和下半部分的两个力反馈梳齿单元构成加速度计力反馈电极结构，对加速度信号引起的位移进行平衡；刚度补偿单元通过刚度补偿单元锚点固定在基片上，上半部分和下半部分的两个刚度补偿单元构成加速度计刚度补偿结构，对加速度计进行刚度补偿。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于四川知微传感技术有限公司，未经四川知微传感技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910261787.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
