[发明专利]激光装置及其电源装置在审
| 申请号： | 201910262061.8 | 申请日： | 2019-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN110391582A | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 山口英正;石挺;原章文 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/097 | 分类号： | H01S3/097 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种提高了可靠性的激光装置。高频电源(400)向包含一对放电电极(202、204)的电容的谐振电路(210)施加高频电压(VRF)。过电压抑制电路(500)抑制谐振电路(210)的两端之间的过电压。若保护电路(550)检测出异常，则保护电路(550)停止来自高频电源(400)的高频电压(VRF)的施加。 | ||
| 搜索关键词： | 电路 高频电压 高频电源 激光装置 谐振电路 施加 过电压抑制 电源装置 放电电极 电容 过电压 检测 | ||
【主权项】：
1.一种电源装置，其驱动包括一对放电电极的激光谐振腔，该电源装置的特征在于，具备：高频电源，向包含所述一对放电电极的电容的谐振电路施加高频电压；过电压抑制电路，抑制所述谐振电路的两端之间的过电压；及保护电路，若检测出异常，则停止所述高频电压的施加，所述保护电路检测出所述异常所需的时间短于所述过电压抑制电路能够耐所述过电压的时间。
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