[发明专利]一种高信噪比的三明治式微加速度计在审
| 申请号： | 201910262367.3 | 申请日： | 2019-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN109946482A | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 雷龙海;周骏;王龙峰;王志;山永启 | 申请（专利权）人： | 四川知微传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/08 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 熊曦 |
| 地址： | 610000 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高信噪比的三明治式微加速度计，所述微加速度计包括：从上到下的：上电极结构层、上键合接触区、中间电极结构层、下键合接触区、下电极结构层；上电极结构层设有与中间电极结构层键合的上键合接触区；下电极结构层设有与中间电极结构层键合的下键合接触区；上键合接触区与下键合接触区构成键合接触层；上电极结构层、中间电极结构层、下电极结构层在上、下键合接触区经熔融键合后构成自密封结构；其中中间电极结构层包括可动质量块；在很大程度上降低器件上、下电极结构层与中间电极结构层的寄生电容值，在极板间隙相同情况下，这将明显的提升三明治式微加速度计的信噪比特性。 | ||
| 搜索关键词： | 接触区 中间电极结构 键合 下电极结构层 三明治 下键 电极结构层 加速度计 高信 可动质量块 微加速度计 自密封结构 从上到下 极板间隙 寄生电容 降低器件 熔融键合 接触层 信噪比 | ||
【主权项】：
1.一种高信噪比的三明治式微加速度计，其特征在于，所述微加速度计包括：从上到下的：上电极结构层、上键合接触区、中间电极结构层、下键合接触区、下电极结构层；上电极结构层设有与中间电极结构层键合的上键合接触区；下电极结构层设有与中间电极结构层键合的下键合接触区；上键合接触区与下键合接触区构成键合接触层；上电极结构层、中间电极结构层、下电极结构层在上、下键合接触区经熔融键合后构成自密封结构；其中中间电极结构层包括可动质量块。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于四川知微传感技术有限公司，未经四川知微传感技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910262367.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种基于刚度补偿的MEMS闭环加速度计
- 下一篇：一种现场测速标准装置
