[发明专利]基于BST薄膜的热调谐频率选择表面及其加工工艺在审
| 申请号： | 201910262624.3 | 申请日： | 2019-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN109980357A | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 马华;王军;董博文;娄菁 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军空军工程大学 |
| 主分类号： | H01Q15/00 | 分类号： | H01Q15/00;H01P1/20 |
| 代理公司： | 重庆飞思明珠专利代理事务所(普通合伙) 50228 | 代理人： | 李宁 |
| 地址： | 710000 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于BST薄膜的热调谐频率选择表面及其加工工艺，其中频率选择表面包括从下到上依次紧密接触设置的基底层、中间介质层和频率选择表面金属层，所述频率选择表面金属层包括设置于两侧的电极以及设置在两个电极之间的多个FSS结构单元，在两个所述电极之间还连接有微米级的电加热单元，所述的多个FSS结构单元等间隔排列于所述电加热单元内，形成周期性阵列。其显著效果是：依据热调谐的机理，通过引入微米级别的电加热丝实现对BST薄膜温度的控制，并通过改变电流大小间接地控制了BST薄膜的介电常数，从而使其透射频率发生改变，实现了太赫兹频段的介电可调谐。 | ||
| 搜索关键词： | 频率选择表面 电极 电加热单元 调谐频率 金属层 调谐 等间隔排列 中间介质层 周期性阵列 电加热丝 介电常数 透射频率 微米级别 基底层 可调谐 微米级 频段 介电 引入 | ||
【主权项】：
1.一种基于BST薄膜的热调谐频率选择表面，包括从下到上依次紧密接触设置的基底层、中间介质层和频率选择表面金属层，其特征在于：所述频率选择表面金属层包括设置于两侧的电极以及设置在两个电极之间的多个FSS结构单元，在两个所述电极之间还连接有微米级的电加热单元，所述的多个FSS结构单元等间隔排列于所述电加热单元内，形成周期性阵列。
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