[发明专利]一种基于非对称MZI光波导的温度传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201910263765.7 | 申请日： | 2019-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN109883567B | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 王希斌;牛东海;张大明;廉天航;姜明慧;孙小强;陈长鸣 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01K11/00 | 分类号： | G01K11/00;G02B6/125;G02B6/138 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 刘世纯;王恩远 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种基于非对称MZI光波导的温度传感器及其制备方法，属于平面光波导传感器及其制备技术领域。整个器件基于MZI光波导结构，从左到右，依次由输入直波导，3‑dB Y分支分束器，两条平行的参考臂和传感臂，3‑dB Y分支耦合器组成；从上至上，依次由硅片衬底、在硅片衬底上制备的具有凹槽结构的聚合物下包层、在聚合物下包层上制备的具有倒脊型波导结构的光波导芯层、在光波导芯层上制备的聚合物上包层组成；本发明的波导型温度传感器结合了MZI光波导的干涉效应强和有机聚合物材料热光系数大的优势，通过将传统MZI波导温度传感器的传感臂和参考臂的光波导芯层采用热光系数不同的两种有机聚合物材料，达到了对实际外界环境温度检测的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 对称 mzi 波导 温度传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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