[发明专利]基于Rubrene:MoO3混合薄膜的红外探测器在审
| 申请号： | 201910265037.X | 申请日： | 2019-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN110034233A | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 邓金祥;李瑞东;陈亮 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | H01L51/48 | 分类号： | H01L51/48;H01L51/46;H01L51/42 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 刘萍 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于Rubrene:MoO3混合薄膜的红外探测器的制备。主要包括衬底的清洗、薄膜的制备、薄膜的测试、探测器的制备以及探测器性能的测试。首先依次在甲苯、丙酮、乙醇和去离子水中分别超声清洗15分钟，然后在高真空有机‑复合蒸镀系统中通过控制蒸发源的温度进而控制蒸发速率制备质量比为1:1的混合薄膜，对薄膜的光学性质和电学性质进行测试。测试发现：两种材料的相互作用很强，并在相互作用过程中诱导出中间能级，形成电荷转移络合物，光吸收对应的能量即为近红外波段。最后制备了基于该混合薄膜的红外探测器，并对其电流‑电压特性进行了测试，发现基于Rubrene:MoO3薄膜的红外探测器表现出较好的光电流关断比。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 红外探测器 混合薄膜 薄膜 测试 探测器 电荷转移络合物 能级 近红外波段 超声清洗 电学性质 电压特性 光学性质 蒸镀系统 高真空 光电流 光吸收 蒸发源 质量比 甲苯 乙醇 丙酮 衬底 关断 水中 离子 清洗 诱导 蒸发 复合 发现 表现 | ||
【主权项】：
1.基于Rubrene:MoO3混合薄膜的制备方法，其特征在于：(1)采用玻璃基片作为衬底，将衬底依次在甲苯、丙酮、乙醇溶液以及去离子水中超声清洗15分钟，然后在手套箱中用N2烘干备用；(2)在真空有机‑金属复合蒸镀系统中通过控制Rubrene和MoO3的蒸发温度制备出Rubrene:MoO3按照质量比为1:1混合的混合薄膜，待制备薄膜完毕，对薄膜进行真空原位退火处理，退火温度为100℃，退火时间为60分钟。
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