[发明专利]柔性砷化镓薄膜电池背电极激光开窗工艺及设备有效
申请号: | 201910265100.X | 申请日: | 2019-04-03 |
公开(公告)号: | CN110120441B | 公开(公告)日: | 2021-04-23 |
发明(设计)人: | 郦俐;王敏;朱俊 | 申请(专利权)人: | 常州雷射激光设备有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67;H01L21/677;B23K26/70;B23K26/38;B23K26/362 |
代理公司: | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人: | 沈泓 |
地址: | 213022 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种柔性砷化镓薄膜电池背电极激光开窗工艺及设备,通过上料机上料,将备料送往上下料单元,然后旋转平台旋转带动物料分别进入定位单元、打码切割单元和检测单元,各单元完成后进入下一单元,最后再回到上下料单元进行下料,完成一整个过程。本发明的打码切割单元能同时完成打码和切割的功能,依靠两路激光同时工作,每条光路可以单独控制,每条光路通过其扩束器和功率计使得聚焦高度、光斑大小、和功率都可以独立调节。 | ||
搜索关键词: | 柔性 砷化镓 薄膜 电池 电极 激光 开窗 工艺 设备 | ||
【主权项】:
1.一种柔性砷化镓薄膜电池背电极激光开窗工艺,其特征在于:a、上料机从花篮中依次把电池片抽出,通过流道皮带的传输和吸盘吸取把电池片放置到转盘的第一工位上,电池片正面朝下通过真空吸附固定电池片;b、转盘将电池片转到第二工位;底部照明与成像根据电池片正面的特征图案对电池片进行定位,定位后第一扫描头出光,在电池片背面指定区域打印电池片序列号以及二维码;同时第二扫描头也出光,在指定位置给电池片背电极开窗;d、转盘将电池片转到第三工位;对激光加工后的电池片进行检测,通过成像和照明系统,用高倍‑低倍摄像头拍摄加工区域整体和局部图像,使用图像处理对激光加工区域的各项指标进行测量;e、转盘将电池片转回到第一工位;电池片由吸盘吸取至下料流道,电池片流向下一道加工工序或者自动下料机。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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