[发明专利]具有离线真空度保持功能的载板在审
申请号: | 201910266021.0 | 申请日: | 2019-04-03 |
公开(公告)号: | CN109994396A | 公开(公告)日: | 2019-07-09 |
发明(设计)人: | 叶欣;汪辉;高振波;洪昀;金光前;张鑫;陈雷雷;何守龙 | 申请(专利权)人: | 杭州中为光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/67;H01L21/673;H01L21/683 |
代理公司: | 浙江英普律师事务所 33238 | 代理人: | 陈小良 |
地址: | 310030 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及太阳能电池板生产辅助工具,尤其涉及具有离线真空度保持功能的载板,属于工业自动化领域。本发明所述的具有离线真空度保持功能的载板,包括载板本体,在载板本体内设置有真空腔,在载板本体上设置有真空发生装置,该真空发生装置用于使真空腔形成真空,从而通过吸附孔吸附载板本体上的物料。该方案中真空发生装置设置于载板本体上,使得载板本体具有离线真空保持的功能,即,载板本体可以在各工序之间流转,并且,在各工序之间流转时仍可以保持真空吸附功能,相对于现有技术,该方案可以有效地保证载板本体在各工序流转时的吸附能力,从而提高了太阳能电池板的组装精度,并且,组装太阳能电池板的设备易于维护。 | ||
搜索关键词: | 载板本体 离线 太阳能电池板 真空发生装置 流转 真空腔 载板 组装 工业自动化领域 真空吸附功能 生产辅助 吸附能力 真空保持 吸附孔 有效地 吸附 体内 保证 维护 | ||
【主权项】:
1.具有离线真空度保持功能的载板,包括载板本体(1),其特征是:在所述载板本体(1)内设置有真空腔(2),在所述载板本体(1)的一个侧面上设置有吸附孔(3),所述吸附孔(3)与所述真空腔(2)相通,在所述载板本体(1)上设置有使真空腔(2)产生真空的真空发生装置,所述真空发生装置包括储气罐(4)、真空发生器(5)、气嘴(6)、破真空阀(7)、检测真空腔(2)内真空度的真空度检测器(8)、进气阀(9)和控制器,所述气嘴(6)通过进气阀(9)与所述储气罐(4)相通,所述储气罐(4)通过真空发生器(5)与真空腔(2)相通,所述储气罐(4)通过破真空阀(7)与外界相通,所述真空度检测器(8)与所述控制器通讯,所述破真空阀(7)、进气阀(9)和真空发生器(5)均由所述控制器控制工作。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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