[发明专利]具有离线真空度保持功能的载板在审

专利信息
申请号: 201910266021.0 申请日: 2019-04-03
公开(公告)号: CN109994396A 公开(公告)日: 2019-07-09
发明(设计)人: 叶欣;汪辉;高振波;洪昀;金光前;张鑫;陈雷雷;何守龙 申请(专利权)人: 杭州中为光电技术有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66;H01L21/67;H01L21/673;H01L21/683
代理公司: 浙江英普律师事务所 33238 代理人: 陈小良
地址: 310030 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及太阳能电池板生产辅助工具,尤其涉及具有离线真空度保持功能的载板,属于工业自动化领域。本发明所述的具有离线真空度保持功能的载板,包括载板本体,在载板本体内设置有真空腔,在载板本体上设置有真空发生装置,该真空发生装置用于使真空腔形成真空,从而通过吸附孔吸附载板本体上的物料。该方案中真空发生装置设置于载板本体上,使得载板本体具有离线真空保持的功能,即,载板本体可以在各工序之间流转,并且,在各工序之间流转时仍可以保持真空吸附功能,相对于现有技术,该方案可以有效地保证载板本体在各工序流转时的吸附能力,从而提高了太阳能电池板的组装精度,并且,组装太阳能电池板的设备易于维护。
搜索关键词: 载板本体 离线 太阳能电池板 真空发生装置 流转 真空腔 载板 组装 工业自动化领域 真空吸附功能 生产辅助 吸附能力 真空保持 吸附孔 有效地 吸附 体内 保证 维护
【主权项】:
1.具有离线真空度保持功能的载板,包括载板本体(1),其特征是:在所述载板本体(1)内设置有真空腔(2),在所述载板本体(1)的一个侧面上设置有吸附孔(3),所述吸附孔(3)与所述真空腔(2)相通,在所述载板本体(1)上设置有使真空腔(2)产生真空的真空发生装置,所述真空发生装置包括储气罐(4)、真空发生器(5)、气嘴(6)、破真空阀(7)、检测真空腔(2)内真空度的真空度检测器(8)、进气阀(9)和控制器,所述气嘴(6)通过进气阀(9)与所述储气罐(4)相通,所述储气罐(4)通过真空发生器(5)与真空腔(2)相通,所述储气罐(4)通过破真空阀(7)与外界相通,所述真空度检测器(8)与所述控制器通讯,所述破真空阀(7)、进气阀(9)和真空发生器(5)均由所述控制器控制工作。
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