[发明专利]一种ECR离子源感应炉在审
| 申请号： | 201910266265.9 | 申请日： | 2019-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN109916177A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 卢旺;钱程;孙良亭;李立彬;黄维 | 申请（专利权）人： | 中国科学院近代物理研究所 |
| 主分类号： | F27B14/06 | 分类号： | F27B14/06;F27B14/08;F27B14/14 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 谢斌 |
| 地址： | 730000 *** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种ECR离子源感应炉，包括：感应坩埚，感应坩埚呈两端开口的圆筒状且为卧式放置；内屏蔽筒，套设在感应坩埚外部，用于对感应坩埚进行保温；外屏蔽单元，套设在内屏蔽筒外部且与内屏蔽筒之间存在环形夹层；感应线圈，缠绕在内屏蔽筒外周且与内屏蔽筒之间为滑动配合，用于产生交变磁场以对感应坩埚进行加热；紧固单元，设置在感应坩埚、内屏蔽筒和外屏蔽单元的两端，以将感应坩埚、内屏蔽筒和外屏蔽单元连接在一起并将三者的内部空间封闭，同时在紧固单元上开设有连通感应坩埚内腔和ECR等离子体的蒸气出口。本发明可以将充足的难熔金属蒸气馈入到ECR等离子体中，进而产生相应的强流高电荷态难熔金属离子束。 | ||
| 搜索关键词： | 感应坩埚 内屏蔽筒 外屏蔽 紧固单元 难熔金属 感应炉 单元连接 感应线圈 滑动配合 环形夹层 交变磁场 两端开口 卧式放置 蒸气出口 电荷态 离子束 屏蔽筒 圆筒状 外部 馈入 内腔 外周 保温 加热 连通 缠绕 封闭 | ||
【主权项】：
1.一种ECR离子源感应炉，其特征在于，包括：感应坩埚(11)，所述感应坩埚(11)呈两端开口的圆筒状且为卧式放置；内屏蔽筒(10)，套设在所述感应坩埚(11)外部，用于对所述感应坩埚(11)进行保温；外屏蔽单元(1)，套设在所述内屏蔽筒(10)外部且与所述内屏蔽筒(10)之间存在环形夹层；感应线圈(9)，缠绕在所述内屏蔽筒(10)外周且与所述内屏蔽筒(10)之间为滑动配合，用于产生交变磁场以对所述感应坩埚(11)进行加热；紧固单元(3)，设置在所述感应坩埚(11)、内屏蔽筒(10)和外屏蔽单元(1)的两端，以将所述感应坩埚(11)、内屏蔽筒(10)和外屏蔽单元(1)连接在一起并将三者的内部空间封闭，同时在所述紧固单元(3)上开设有连通所述感应坩埚(11)内腔和ECR等离子体的蒸气出口(4)。
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