[发明专利]一种ECR离子源金属炉测试装置

摘要

本发明涉及ECR离子源金属炉测试装置，包括测试腔，其一侧开设有金属炉进口，另一侧开设有移动测温组件接口，第三侧开设有用于安装放气阀的放气口；真空硅管和涡轮分子泵，均设置在测试腔上并与测试腔的内腔相连通；热辐射屏蔽罩，水平设置在测试腔内部并形成金属炉的容置空间；移动测温组件经移动测温组件接口伸入测试腔内，用于对金属炉内部的轴向温度进行连续测量。本发明可以对ECR离子源金属炉进行离线测试，通过离线测试得出金属炉的各种运行参数并对其性能进行全面评估，同时根据测试结果便于对金属炉的结构和性能进行进一步的优化与改进。

主权项

1.一种ECR离子源金属炉测试装置，其特征在于，包括测试装置主体(100)，所述测试装置主体(100)包括：测试腔(5)，所述测试腔(5)为一封闭的腔室，所述测试室(5)的一侧开设有金属炉进口，所述测试室(5)的另一侧开设有移动测温组件接口，所述测试腔(5)的第三侧开设有用于安装放气阀(14)的放气口；真空硅管(6)和涡轮分子泵(7)，所述真空硅管(6)和涡轮分子泵(7)均设置在所述测试腔(5)上并与所述测试腔(5)的内腔相连通，所述涡轮分子泵(7)用于与机械泵连接以将所述测试腔(5)内部抽真空，所述真空硅管(6)用于与真空计连接监测所述测试腔(5)内的真空度；热辐射屏蔽罩(17)，所述热辐射屏蔽罩(17)为两端敞口的筒形，所述热辐射屏蔽罩(17)水平设置在所述测试腔(5)内部，并且所述热辐射屏蔽罩(17)的两敞口端分别与所述测试腔(5)的金属炉进口和移动测温组件接口对齐，所述金属炉(10)通过金属炉支撑管(2)经所述测试腔(5)的金属炉进口伸入所述热辐射屏蔽罩(17)内部；移动测温组件(8)，所述移动测温组件(8)经所述移动测温组件接口伸入所述测试腔(5)内，用于对所述金属炉(10)内部的轴向温度进行连续测量。