[发明专利]一种大量程聚焦式激光点位移测量系统在审
| 申请号： | 201910266641.4 | 申请日： | 2019-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN110108227A | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 张效栋;武光创;朱琳琳;房丰洲 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 程毓英 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种大量程聚焦式激光点位移测量系统，包括半导体激光二极管、衍射光栅、分光棱镜、1/4波片、准直透镜、物镜、柱面镜、四象限探测器、信号调理电路，采集电路和工控机，四象限探测器检测到的聚焦误差信号依次经过信号调理电路和采集电路后输入到工控机，工控机根据聚焦误差信号测量被测工件表面形貌。其特征在于，所述的物镜为显微物镜，所述的信号调理电路包括低通滤波器，用以滤去1/2倍采样频率以上的信号。 | ||
| 搜索关键词： | 信号调理电路 工控机 聚焦误差信号 四象限探测器 位移测量系统 采集电路 大量程 激光点 聚焦式 物镜 半导体激光二极管 形貌 被测工件表面 低通滤波器 采样频率 分光棱镜 显微物镜 衍射光栅 准直透镜 柱面镜 波片 测量 检测 | ||
【主权项】：
1.一种大量程聚焦式激光点位移测量系统，包括半导体激光二极管、衍射光栅、分光棱镜、1/4波片、准直透镜、物镜、柱面镜、四象限探测器、信号调理电路，采集电路和工控机，四象限探测器检测到的聚焦误差信号依次经过信号调理电路和采集电路后输入到工控机，工控机根据聚焦误差信号测量被测工件表面形貌。其特征在于，所述的物镜为显微物镜，所述的信号调理电路包括低通滤波器，用以滤去1/2倍采样频率以上的信号。
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