[发明专利]三维形状测量系统以及测量时间设定方法

摘要

本发明提供即使探头发生位置偏移也能够高精度地测量被测量对象的三维形状的技术。设定曝光时间(步骤11)，多次进行探头的位置测量(步骤12)。计算多个形态的平均次数的位置测量误差(步骤13)。计算测量时间与所计算出的定位误差的对应表(步骤14)。使用所准备的测量时间与手抖误差的对应表，计算设定曝光时间与测量时间(手抖误差+定位误差)的对应表(步骤15)。针对作为设定候补的所有曝光时间来重复步骤11～15，计算测量时间与位置测量误差的对应表(步骤16)。设定可使位置测量误差最小的曝光时间和平均次数(步骤17)。

主权项

1.一种三维形状测量系统，包含：时机控制部，输出用于同步的控制信号，非接触型三维形状测量传感器，与所述控制信号同步地以不与被测量对象接触的方式来测量该被测量对象的三维形状，探头，具有所述非接触型三维形状测量传感器，在测量所述三维形状时，所述非接触型三维形状测量传感器被保持为相对于所述被测量对象位于能够测量该被测量对象的形状的位置，多个标记，配置于所述探头，并与所述控制信号同步地发光，测量设定部，设定拍摄的曝光时间以及拍摄的次数，拍摄部，在整个所述曝光时间内接受来自包含所述多个标记的拍摄对象的光，从而拍摄包含该多个标记的图像，并且，在所述非接触型三维形状测量传感器测量所述被测量对象的三维形状时，在所述曝光时间内，与所述控制信号同步地以所述次数拍摄包含所述多个标记的所述图像，处理部，从由所述拍摄部拍摄的多个所述图像中提取所述多个标记的位置，基于与该多个标记的位置关系相关的信息，测量所述探头的世界坐标系中的位置姿态，以及三维形状转换处理部，基于所述非接触型三维形状测量传感器测量三维形状时的所述探头的位置姿态，将由所述非接触型三维形状测量传感器测量到的针对所述探头定义的探头坐标系中的所述被测量对象的三维形状转换为所述世界坐标系中的所述被测量对象的三维形状，并生成用于表现所述世界坐标系中的该被测量对象的三维形状的信息；所述三维形状测量系统的特征在于，所述测量设定部变更所述曝光时间和所述拍摄的次数中的任意一项，计算基于变更时的所述拍摄和所述探头的位置姿态的测量的结果的所述探头的位置测量误差，所述测量设定部针对多个种类的曝光时间以及拍摄的次数，计算该位置测量误差，所述测量设定部从所得到的多个位置测量误差中设定位置测量误差变小时的曝光时间和拍摄的次数。