[发明专利]SIP模块分区电磁屏蔽封装方法在审
申请号: | 201910268394.1 | 申请日: | 2019-04-04 |
公开(公告)号: | CN110010507A | 公开(公告)日: | 2019-07-12 |
发明(设计)人: | 林江宽;孟涛 | 申请(专利权)人: | 中电海康无锡科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 殷红梅;屠志力 |
地址: | 214135 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种SIP模块分区电磁屏蔽封装方法,包括以下步骤:提供一基板,在所述基板的第一工作面上贴装倒装芯片和被动元件,所用基板第一工作面芯片贴装位置四周有制作好的接地焊盘;然后先对基板进行等离子体表面清洗,接着对基板的第一工作面进行薄膜塑封,形成覆盖基板第一工作面的塑封膜;利用激光把需要分区屏蔽的芯片周围开槽,把相应的接地焊盘暴露出来;对整个基板的第一工作面进行溅镀,形成内金属屏蔽层,实现芯片分区屏蔽;对溅镀后的基板先进行等离子体清洗,然后在基板的第一表面进行塑封,形成外封装体;对整个基板进行切割,形成各个单颗SIP模块。本发明有助于缩小模块尺寸,提高可靠性,提高生产效率。 | ||
搜索关键词: | 基板 电磁屏蔽 接地焊盘 分区 对基板 屏蔽 溅镀 封装 等离子体表面 等离子体清洗 内金属屏蔽层 薄膜塑封 被动元件 倒装芯片 第一表面 覆盖基板 生产效率 外封装体 芯片分区 芯片贴装 基板先 塑封膜 开槽 塑封 贴装 切割 清洗 激光 芯片 暴露 制作 | ||
【主权项】:
1.一种SIP模块分区电磁屏蔽封装方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤S1,提供一基板(1),在所述基板(1)的第一工作面上贴装倒装芯片(2)和被动元件(3),所用基板(1)第一工作面芯片贴装位置四周有预先制作好的接地焊盘(4);步骤S2,然后先对基板(1)进行等离子体表面清洗,接着对基板(1)的第一工作面进行薄膜塑封,形成覆盖基板(1)第一工作面的塑封膜(5);步骤S3,利用激光把需要分区屏蔽的芯片周围开槽,把相应的接地焊盘暴露出来;步骤S4,对整个基板(1)的第一工作面进行溅镀,形成内金属屏蔽层(6),实现芯片分区屏蔽;内金属屏蔽层(6)连接接地焊盘;步骤S5,对溅镀后的基板先进行等离子体清洗,然后在基板(1)的第一表面进行塑封,形成外封装体(7);步骤S6,对整个基板进行切割,形成各个单颗SIP模块。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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