[发明专利]黑硅太阳能电池生产线

摘要

本发明公开了一种能够适用于黑硅太阳能电池生产，简化生产工艺、降低生产成本的黑硅太阳能电池生产线。该黑硅太阳能电池生产线，包括硅片超声波清洗机、硅片制绒装置、硅片自动分离器、转运平台、硅片转运装置、硅片清洗装置、硅片烘干炉、扩散炉、硅片刻蚀机、硅片洗磷装置、硅片镀膜装置、第一丝印机、第一烘箱、硅片翻面转运装置、第二丝印机、第二烘箱以及硅片输送导轨。采用该黑硅太阳能电池生产线，能够便于实现自动化生产，能够便于提高生产效率，降低生产成本。

主权项

1.黑硅太阳能电池生产线，其特征在于：包括硅片超声波清洗机(100)、硅片制绒装置(200)、硅片自动分离器(300)、转运平台(400)、硅片转运装置(500)、硅片清洗装置(600)、硅片烘干炉(700)、扩散炉(800)、硅片刻蚀机(900)、硅片洗磷装置(0100)、硅片镀膜装置(110)、第一丝印机(120)、第一烘箱(130)、硅片翻面转运装置(140)、第二丝印机(150)、第二烘箱(160)以及硅片输送导轨(170)；所述硅片自动分离器(300)、转运平台(400)、硅片转运装置(500)、硅片清洗装置(600)、硅片烘干炉(700)、扩散炉(800)、硅片刻蚀机(900)、硅片洗磷装置(0100)、硅片镀膜装置(110)、第一丝印机(120)、第一烘箱(130)、硅片翻面转运装置(140)、第二丝印机(150)、第二烘箱(160)依次设置，所述硅片自动分离器(300)与转运平台(400)之间通过硅片输送导轨(170)输送硅片；所述转运平台(400)与硅片清洗装置(600)之间通过硅片转运装置(500)输送硅片；所述硅片清洗装置(600)与硅片烘干炉(700)之间，所述硅片烘干炉(700)与扩散炉(800)之间，所述硅片洗磷装置(0100)与硅片镀膜装置(110)之间，所述硅片镀膜装置(110)与第一丝印机(120)之间，所述第一丝印机(120)与第一烘箱(130)之间，所述第一烘箱(130)与第二丝印机(150)之间，以及第二丝印机(150)与第二烘箱(160)之间均通过硅片输送导轨(170)输送硅片；所述扩散炉(800)与硅片洗磷装置(0100)之间设置有硅片输送导轨(170)；所述扩散炉(800)与硅片洗磷装置(0100)之间的硅片输送导轨(170)上设置有硅片横向输送装置(180)；所述硅片横向输送装置(180)的两侧均设置有硅片刻蚀机(900)；所述第一烘箱(130)与第二丝印机(150)之间的硅片输送导轨(170)上设置有硅片翻面转运装置(140)。