[发明专利]一种消场曲及消像散的355nm紫外远心f-theta镜头在审
| 申请号： | 201910268787.2 | 申请日： | 2019-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN110146968A | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 梁思远;王国力;吴玉堂;朱敏;刘建芬;刘旭东 | 申请（专利权）人： | 南京波长光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B13/22 |
| 代理公司： | 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) 32341 | 代理人： | 李建芳 |
| 地址： | 211123 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种消场曲及消像散的355nm紫外远心f‑theta镜头，包括沿入射光线传输方向依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜；第一透镜为弯月形负透镜，第二透镜为弯月型正透镜，第三透镜为平凸正透镜，第四透镜为弯月型正透镜，第五透镜为双凸正透镜，第六透镜为双平面保护窗口片。本发明通过特定结构光学系统的设置，使得远心F‑theta镜头的场曲、及像散降低非常显著；进一步，借助自由曲面的较高的设计自由度和灵活的空间布局，以及透镜组光焦度的合理分配，像散小于0.04mm，场曲控制在0.02mm内；远心度小于1°；适用于对平场及像散要求较高的紫外激光微精细加工或者紫外激光钻孔等对平场要求苛刻的领域。 | ||
| 搜索关键词： | 透镜 像散 远心 弯月型正透镜 紫外激光 场曲 透镜组光焦度 弯月形负透镜 设计自由度 双凸正透镜 传输方向 结构光学 精细加工 空间布局 入射光线 依次设置 窗口片 灵活的 双平面 远心度 正透镜 自由曲 镜头 钻孔 分配 | ||
【主权项】：
1.一种消场曲及消像散的355nm紫外远心f‑theta镜头，其特征在于：包括沿入射光线传输方向依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜；第一透镜为弯月形负透镜，第二透镜为弯月型正透镜，第三透镜为平凸正透镜，第四透镜为弯月型正透镜，第五透镜为双凸正透镜，第六透镜为双平面保护窗口片。
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