[发明专利]蒸镀坩埚支撑器有效
申请号: | 201910268932.7 | 申请日: | 2019-04-04 |
公开(公告)号: | CN110029312B | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 谭伟;李金川 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种蒸镀坩埚支撑器,包括:一壳体,一轴杆,一第一弹性件,一支撑构件,所述轴杆轴向地设置于所述壳体中,所述第一弹性件被配置为使所述轴杆可相对于所述壳体上下移动;所述支撑构件,包括多个第一连杆、多个第二连杆、多个连接件;所述支撑构件可在一闭合状态与一展开状态之间转换。 | ||
搜索关键词: | 坩埚 支撑 | ||
【主权项】:
1.一种蒸镀坩埚支撑器,其特征在于:所述蒸镀坩埚支撑器包括:一壳体,所述壳体的一第一端及一第二端各设有一第一开孔及一第二开孔;一轴杆,包括一提取部及一支撑部,轴向地设置于所述壳体中,所述提取部从所述第一开孔伸出,所述支撑部从所述第二开孔伸出;及一支撑构件,包括多个第一连杆、多个第二连杆、多个连接件;其中所述第一连杆与所述第二连杆铰性连接于一第一连接件、所述第二连杆与所述支撑部铰性连接于一可拆卸的第二连接件,以及所述第一连杆与所述壳体的所述第二端铰性连接于一可拆卸的第三连接件;其中所述支撑构件可在一闭合状态与一展开状态之间转换,所述第一连接件设置于所述第二连杆的两个端点之间,所述第一连接件被配置为使所述第一连杆与所述第二连杆可展开成一倒勾,用以从一坩埚的内部支撑所述坩埚。
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