[发明专利]一种毛细管聚焦的微束X射线衍射仪

摘要

本发明涉及一种毛细管聚焦的微束X射线衍射仪，包括：X射线源系统，X射线滤波片，毛细管会聚X光透镜，接收狭缝，三维样品台，测角仪，X射线探测器，电子学系统，控制系统和计算机；其中，样品置于样品台上；所述X射线源系统，X射线滤波片和毛细管会聚X光透镜位于同一直线上并安装在所述测角仪一侧；所述接收狭缝和X射线探测器位于同一直线上并安装在所述测角仪另一侧；所述X射线探测器依次与所述电子学系统、计算机电连接；所述控制系统分别与所述三维样品台，测角仪和计算机电连接。具备微区X射线衍射分析和微区能量色散X射线荧光分析两种分析模式，可以测量小样品或样品微区的物相结构，能通过二维连续扫描探测物相或元素的分布。

主权项

1.一种毛细管聚焦的微束X射线衍射仪，其特征在于，所述衍射仪包括：X射线源系统(1)，X射线滤波片(9)，毛细管会聚X光透镜(10)，接收狭缝(11)，三维样品台(12)，测角仪(13)，X射线探测器(6)，电子学系统(7)，控制系统(14)和计算机(8)；其中，待测样品置于所述三维样品台(12)上；所述X射线滤波片(9)安装在所述X射线源系统(1)和所述毛细管会聚X光透镜(10)之间；所述X射线源系统(1)和所述毛细管会聚X光透镜(10)安装在所述测角仪(13)一侧，所述毛细管会聚X光透镜(10)将来自所述X射线源系统(1)的X射线会聚成微束X射线，所述微束X射线的中心线与所述三维样品台(12)表面的夹角为θ₁；所述X射线探测器(6)和所述接收狭缝(11)安装在所述测角仪(13)另一侧，所述X射线探测器(6)铍窗的中心线经过所述接收狭缝(11)的中心并与所述三维样品台(12)表面的夹角为θ₂；所述微束X射线的中心线、所述X射线探测器(6)铍窗的中心线交汇于所述测角仪(13)的圆心，所述样品的待测点位于所述测角仪(13)的圆心；所述X射线探测器(6)依次与所述电子学系统(7)，所述计算机(8)电连接；所述控制系统(14)分别与所述三维样品台(12)，所述测角仪(13)和所述计算机(8)电连接。