[发明专利]一种基于互电容原理的MEMS液体陀螺仪有效
| 申请号： | 201910270143.7 | 申请日： | 2019-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN109883408B | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 姜开春;赵玉龙;徐瀚洋;王子溪;张凯;杨鑫婉 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01C19/00 | 分类号： | G01C19/00;G01C9/10 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种基于互电容原理的MEMS液体陀螺仪，包括上基板、中间基板以及下基板，中间基板与上基板通过UV胶黏剂进行封装，中间基板通过MEMS工艺与下基板封装；下基板的上表面中部设有环形电容，环形电容的外圈设有阵列柱状疏水结构，阵列柱状疏水结构的外圈设有环形阵列电容，环形阵列电容和环形电容与金属引线板相连；中间基板上设有贯通的环形沟槽通道，环形沟槽通道位于阵列柱状疏水结构上方，环形沟槽通道内设有水银液滴；通过水银液滴在环形沟槽通道内滚动，使环形阵列电容上的电容和环形电容之间的互电容发生改变，从而输出角度等信号，本发明提高了信号的准确性，结合MEMS工艺，使得传感器具有体积小、质量轻、成本低等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 电容 原理 mems 液体 陀螺仪 | ||
【主权项】：
1.一种基于互电容原理的MEMS液体陀螺仪，包括上基板(1)、中间基板(2)以及下基板(3)，其特征在于：中间基板(2)与上基板(1)通过UV胶黏剂进行封装，中间基板(2)通过MEMS工艺与下基板(3)封装；下基板(3)的上表面中部设有环形电容(6)，环形电容(6)的外圈设有阵列柱状疏水结构(7‑2)，阵列柱状疏水结构(7‑2)的外圈设有环形阵列电容(5)，环形阵列电容(5)和环形电容(6)与有金属引线板(8)相连；中间基板(2)上设有贯通的环形沟槽通道(4)，环形沟槽通道(4)位于阵列柱状疏水结构(7‑2)上方，环形沟槽通道(4)的沟槽内壁有经过处理的疏水层(7‑1)，环形沟槽通道(4)内设有水银液滴(9)。
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