[发明专利]一种蚀刻设备有效
| 申请号： | 201910270599.3 | 申请日： | 2019-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN110106504B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 刘三泓 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;C23F1/02 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种蚀刻设备，包括载物台与两个以上喷淋单元，载物台用以放置基板；喷淋单元设于所述载物台上方，用以向所述基板喷淋刻蚀液；每一喷淋单元包括第一喷嘴与第二喷嘴，第一喷嘴朝向所述基板方向，第一喷嘴中心轴线与竖直方向形成第一夹角；以及第二喷嘴朝向所述基板方向，第二喷嘴中心轴线与竖直方向形成第二夹角。通过调节喷淋单元中的每一喷嘴的方向，使得金属层侧壁下部的腐蚀程度更深，从而调节面板成品中taper角的角度，使得taper角的角度不会过小，进而提高面板的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 设备 | ||
【主权项】：
1.一种蚀刻设备，其特征在于，包括载物台，用以放置基板；以及两个以上喷淋单元，设于所述载物台上方，用以向所述基板喷淋刻蚀液；每一喷淋单元包括第一喷嘴，朝向所述基板方向，所述第一喷嘴中心轴线与竖直方向形成第一夹角；以及第二喷嘴，朝向所述基板方向，所述第二喷嘴中心轴线与竖直方向形成第二夹角。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于TCL华星光电技术有限公司，未经TCL华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910270599.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
