[发明专利]肺癌早期诊断用微波呼吸传感器及其制备方法

摘要

基于半导体微加工工艺的肺癌早期诊断用微波呼吸传感器及其制备方法，本发明属于微波检测领域，它为了解决现有气敏传感器的灵敏度较低的问题。本发明微波呼吸传感器在基板上依次沉积AAO层和SiO2层，在SiO2层上采用MEMS工艺加工成电路相同的参考用传感器和检测用传感器，沿基板和AAO层厚度方向电镀有导热金属，基板的背面集成有微加热器，气敏材料位于输入微带线和输出微带线与开口谐振环进行电磁能量耦合的间隙处。本发明在室温条件下实现了对甲苯的高灵敏度检测，实现了1ppm级甲苯的检测，灵敏度高达7.44MHz/ppm，该微波呼吸传感器无需高温或者紫外线照射即可工作，具有优异的检测灵敏度和稳定性。

主权项

1.基于半导体微加工工艺的肺癌早期诊断用微波呼吸传感器，其特征在于该基于半导体微加工工艺的肺癌早期诊断用微波呼吸传感器包括气敏材料(1‑4)、微加热器(3)、参考用传感器(4‑1)、检测用传感器(4‑2)、基板(7)、微加热器(3)和封装材料(8)，在基板(7)的正面设置有AAO层(6)，AAO层(6)上设置有SiO₂层(5)，SiO₂层(5)上采用MEMS工艺加工成参考用传感器(4‑1)和检测用传感器(4‑2)，参考用传感器(4‑1)和检测用传感器(4‑2)分置在左右两侧，参考用传感器(4‑1)和检测用传感器(4‑2)的微波谐振电路相同，微波谐振电路通过封装材料(8)封装；在微波谐振电路区域内沿基板(7)和AAO层(6)的厚度方向开有热传导通道，在热传导通道内电镀有导热金属(2)，基板(7)的背面集成有微加热器(3)；其中所述的微波谐振电路包括开口谐振环(1‑1)、输入微带线(1‑2)、输出微带线(1‑3)和气敏材料(1‑4)，气敏材料(1‑4)位于输入微带线(1‑2)和输出微带线(1‑3)与开口谐振环(1‑1)进行电磁能量耦合的间隙处；其中所述的气敏材料(1‑4)为势垒金属修饰的金属氧化物纳米线。