[发明专利]一种钼铝钼的兼容蚀刻液在审
| 申请号： | 201910274571.7 | 申请日： | 2019-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN110129797A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 戈士勇;江强 | 申请（专利权）人： | 江苏中德电子材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/26 | 分类号： | C23F1/26;C23F1/20 |
| 代理公司： | 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙) 32309 | 代理人： | 隋玲玲 |
| 地址： | 214434 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种钼铝钼的兼容蚀刻液，包括如下质量百分比的成分：磷酸60‑75%，硝酸1‑10%，醋酸5‑15%，磷酸二氢钾1‑2%，磷酸氢二钾1‑2%，纯水10‑20%。本发明通过调整蚀刻液主成分以及磷酸二氢钾和磷酸氢二钾的含量及添加顺序，协调蚀刻液对Mo及Al的蚀刻速率，使得同一款药液可以同时兼容钼铝钼、钼铝、钼等多种膜层蚀刻要求。该蚀刻液蚀刻后的基板表面整洁，无残留，无金属间分层现象，剩余线条平整，蚀刻角度保持在30～60°之间。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻液 蚀刻 铝钼 磷酸二氢钾 磷酸氢二钾 兼容 醋酸 质量百分比 分层现象 基板表面 角度保持 硝酸 无残留 磷酸 膜层 线条 平整 金属 整洁 协调 | ||
【主权项】：
1.一种钼铝钼的兼容蚀刻液，其特征在于：包括如下质量百分比的成分磷酸 60‑75%，硝酸 1‑10%，醋酸 5‑15%，磷酸二氢钾 1‑2%，磷酸氢二钾 1‑2%，纯水 10‑20%。
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