[发明专利]极板间距调节装置及调节设备

摘要

本揭示提供一种极板间距调节装置及调节设备。极板间距调节装置包括上极板、与上极板相对的下极板、连接装置以及单元驱动装置。连接装置连接下极板与单元驱动装置。下极板还包括单元极板。单元极板在静止时位于同一平面内，每个单元极板对应连接连接装置，单元极板通过连接装置上下调节来改变与上极板之间的距离，进而调节异常电场的电场强度，保证腔体内电场强度的一致，提高成膜质量。

主权项

1.一种极板间距调节装置，其特征在于，包括：上极板、与所述上极板相对的下极板、连接装置以及单元驱动装置；其中，所述连接装置连接所述下极板与所述单元驱动装置；所述下极板包括复数个单元极板，所述单元极板在静止时位于同一平面内，每个所述单元极板对应连接所述连接装置，所述单元极板通过所述连接装置上下调节。