[发明专利]一种常温常压下利用微波激发气体产生等离子体的方法在审
| 申请号： | 201910276218.2 | 申请日： | 2019-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN109874221A | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 姜涛;苏林;杨广东;李林哲 | 申请（专利权）人： | 东北大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京易捷胜知识产权代理事务所(普通合伙) 11613 | 代理人： | 韩国胜 |
| 地址： | 110169 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于微波等离子技术领域，尤其涉及一种常温常压下利用微波激发气体产生等离子体的方法，在微波的作用下，通过介质波导材料激发出的高能带电粒子轰击气体分子，使得气体分子产生等离子体。所述介质波导材料为非金属材料。所述介质波导体材料为石墨毡。所述介质波导体材料为聚四氟乙烯圆柱棒、石英玻璃棒和ZSM‑5分子筛中的任一种。所述介质波导体材料为活性炭颗粒。所述介质波导体材料为石墨毡+钨极。本发明提供的微波激发气体产生等离子体的方法，具有方式简单，能源消耗低、等离子体稳定、存在时间长等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 波导体 气体产生 微波激发 常温常压 介质波导 气体分子 石墨毡 分子筛 等离子体稳定 高能带电粒子 非金属材料 活性炭颗粒 聚四氟乙烯 石英玻璃棒 微波等离子 能源消耗 圆柱棒 钨极 轰击 微波 激发 | ||
【主权项】：
1.一种常温常压下利用微波激发气体产生等离子体的方法，其特征在于，在微波的作用下，通过介质波导材料激发出的高能带电粒子轰击气体分子，使得气体分子产生等离子体；气体在微波电弧化炉中被激发为等离子体；其中，微波电弧化炉包括炉体和对称设置在炉体两侧的磁控管；炉体中设有一根前后贯通的石英管气路，石英管前后两端分别设有出气口和进气口；气体分子通过进气口进入石英管气路被激发为等离子体，并于出气口排出；将介质波导材料放置于石英管路中，并置于炉体内谐振腔的中心位置；磁控管发出的微波作用在谐振腔中心的介质波导材料上，用以产生高能带电粒子。
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