[发明专利]一种以不锈钢为基材的多功能三维生物微探针及其制备方法

摘要

本发明提供了一种以不锈钢为基材的多功能三维生物微探针及其制备方法，该生物微探针包括针头、针杆和针柄，针头通过针杆连接到针柄上形成三维微探针。其中，针头、针杆和针柄均以不锈钢为基材，其中一侧依次涂覆一有机聚合物绝缘层、一氧化物绝缘层‑有机聚合物复合保护层，另一侧涂覆有一有机聚合物保护层；针头测量区设置有薄膜热电偶结点及电学探测电极；针柄上设置有外接引出焊盘；微探针还包括引出线，其一端与针头测量区上的一个薄膜热电偶结点或者一个电学探测电极连接，另一端与针柄上一个外接引出焊盘连接。该生物微探针除了具有潜在的电学和温度信号同时监测和调控的功能外还具有足够的机械强度、良好的弹性以及较好的生物兼容性。

主权项

1.一种以不锈钢为基材的多功能三维生物微探针，包括针头、针杆和针柄，所述针头通过针杆连接到针柄上形成三维微探针；所述针头包括针尖区和与针尖区连接的测量区，所述测量区与针杆连接；所述针头、针杆和针柄均以不锈钢为基材，其中一侧依次涂覆一有机聚合物绝缘层、一氧化物绝缘层‑有机聚合物复合保护层，另一侧涂覆有一有机聚合物保护层；其中，所述针头测量区的有机聚合物绝缘层外侧表面上设置有薄膜热电偶结点及电学探测电极，并且通过所在处氧化物绝缘层‑有机聚合物复合保护层留出的接触孔裸露出来；所述针柄的有机聚合物绝缘层外侧表面上设置有外接引出焊盘，并且通过所在处氧化物绝缘层‑有机聚合物复合保护层留出的接触孔裸露出来；所述微探针还包括引出线，所述引出线设置于氧化物绝缘层‑有机聚合物复合保护层内部，其一端与针头测量区上的一个所述薄膜热电偶结点或者一个所述电学探测电极连接，另一端与针柄上一个所述外接引出焊盘连接。