[发明专利]一种串联型TiN/TiO2 有效
| 申请号： | 201910276549.6 | 申请日： | 2019-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN109836050B | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 刘涌;陈胜男;韩高荣;汪建勋;徐刚 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C03C17/25 | 分类号： | C03C17/25;C03C17/27;C03C17/22;B05D7/24;B05D1/02 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310013 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种串联型TiN/TiO |
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| 搜索关键词： | 一种 串联 tin tio base sub | ||
【主权项】：
1.一种串联型TiN/TiO2复合薄膜的制备方法，包括：(1)将TiN纳米粉体和分散助剂分散于去离子水中，调节pH>6，超声后得到TiN镀膜前驱体溶胶；(2)将干净的基底加热至不低于100℃，采用超声雾化法将得到的TiN镀膜前驱体溶胶喷射在加热后的基底表面，冷却后得到TiN薄膜；(3)将得到的TiN薄膜进行退火处理，得到串联型TiN/TiO2复合薄膜。
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