[发明专利]一种UV光催化辅助化学机械抛光装置及抛光方法在审
| 申请号： | 201910276663.9 | 申请日： | 2019-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN109866084A | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 刘敬远;张军 | 申请（专利权）人： | 北京建筑大学 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B37/00;C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王文君;陈征 |
| 地址： | 100044*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种UV光催化辅助氮化镓化学机械抛光装置及抛光方法。所述UV光催化辅助化学机械抛光装置，包括：工作台，其表面设有抛光垫；高透光载具，位于所述抛光垫上方，用于固定待抛光处理的工件；旋转套，用于固定并带动所述高透光载具及工件在所述抛光垫上旋转；UV光源，位于所述高透光载具的正上方，其能够朝向正下方射出平行UV光线；保持环模板，位于所述旋转套或所述高透光载具的下方，用于固定待抛光处理的工件。采用本发明所述方法，可大幅度提高氮化镓的去除率，进而提高氮化铝材料平坦化精度、表面质量和抛光效率，延长其使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 高透光 载具 抛光垫 催化 机械抛光装置 辅助化学 抛光处理 抛光 氮化镓 旋转套 化学机械抛光装置 氮化铝材料 抛光效率 使用寿命 平坦化 工作台 去除 射出 平行 | ||
【主权项】：
1.一种UV光催化辅助化学机械抛光装置，其特征在于，包括：工作台，其表面设有抛光垫；高透光载具，位于所述抛光垫上方，用于固定待抛光处理的工件；旋转套，用于固定并带动所述高透光载具及工件在所述抛光垫上旋转；UV光源，位于所述高透光载具的正上方，其能够朝向正下方射出平行UV光线；保持环模板，位于所述旋转套或所述高透光载具的下方，用于固定待抛光处理的工件。
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