[发明专利]一种CO2激光/纳秒脉冲激光复合清洗方法

摘要

一种CO2激光/纳秒脉冲激光复合清洗方法，它涉及材料加工工程领域，本发明的目的是针对CO2激光清洗容易对基材产生热影响、纳秒激光清洗效率低的问题，本发明将CO2激光/纳秒脉冲激光复合清洗方法即按照一定的时空关系和能量配比将CO2激光和纳秒脉冲激光进行复合，用复合后的激光进行清洗，充分发挥CO2激光和纳秒脉冲激光清洗的优势，在提高清洗效率的同时，尽可能降低对基材的热影响，并利用两种激光复合产生的复合效应降低所需的能耗，获得更加均匀的清洗效果，本发明应用于涂层领域。

主权项

1.一种CO₂激光/纳秒脉冲激光复合清洗方法，其特征在于它是按照以下步骤进行的：一、将CO₂激光清洗头与纳秒脉冲激光清洗头安装到机器人上，并将CO₂激光清洗头与纳秒脉冲激光清洗头置于待处理涂层上方；二、设置激光参数：CO₂激光参数：激光功率为0.1～2Kw，光斑形状为矩形，长度L＝1～10mm，宽度W＝5～50mm，扫描速度V_CO2为100～1000mm/s；纳秒脉冲激光参数：激光功率为50～1000W，脉冲频率应为10～1000kHz，脉冲宽度为10～100ns，能量密度为0.5～5J/cm²，光斑直径d＝0.02～1mm；三、保持CO₂激光在前，纳秒脉冲激光在后，二者的距离为1～7mm；开启CO₂激光与纳秒脉冲激光，通过机器人带动CO₂激光与纳秒脉冲激光以同一速度沿X方向前进，同时纳秒脉冲激光沿y方向往返扫描，直至将涂层去除；其中，纳秒脉冲激光沿y方向的扫描速度分量v_y为2～10m/s；纳秒脉冲激光沿y方向扫描距离与CO₂激光光斑的宽度相同。