[发明专利]一种平面三自由度全柔性并联定位平台在审
| 申请号： | 201910278617.2 | 申请日： | 2019-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN109848932A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 张驰;杨宝;余宏涛;杨淼;杨桂林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | B25H1/14 | 分类号： | B25H1/14;B25J9/00 |
| 代理公司： | 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种平面三自由度全柔性并联定位平台，包括柔性并联机构和音圈电机。柔性并联机构包括通过线切割一体化加工的外固定框、三个呈正三角形排列布置的柔性支链和位于中心的正三角形动平台。每个柔性支链的下方设有一个音圈电机，每个音圈电机的电机动子通过对应的柔性支链与正三角形动平台的顶点柔性连接，通过控制各个音圈电机的输入电流实现正三角形动平台在XOY平面内沿X向、Y向的平动以及绕Z向的转动。本发明的优点在于：高分辨率、结构紧凑、低惯量、无误差累积、无磨损、无机械间隙、无需装配，在实现大行程定位的同时具有高的定位精度与高的固有频率；可作为超精密加工、微电子集成制造等微/纳米操作系统的辅助定位平台。 | ||
| 搜索关键词： | 正三角形 柔性支链 音圈电机 动平台 并联定位平台 平面三自由度 并联机构 全柔性 辅助定位平台 超精密加工 三角形排列 微电子集成 一体化加工 电机动子 高分辨率 固有频率 机械间隙 柔性连接 输入电流 误差累积 大行程 低惯量 外固定 无磨损 线切割 平动 操作系统 转动 装配 电机 制造 | ||
【主权项】：
1.一种平面三自由度全柔性并联定位平台，包括柔性并联机构和音圈电机；其特征在于：所述的柔性并联机构包括通过线切割一体化加工的外固定框(1)、三个呈正三角形排列布置的柔性支链(2)和位于中心的正三角形动平台(3)；每个柔性支链(2)的下方设有一个所述的音圈电机，每个音圈电机的电机动子(5)通过对应的柔性支链(2)与正三角形动平台(3)的顶点柔性连接，通过控制各个音圈电机的输入电流实现正三角形动平台(3)在XOY平面内沿X向、Y向的平动以及绕Z向的转动。
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