[发明专利]热容热阻双效耦合的深低温高精度控温装置

摘要

本发明公开了一种热容热阻双效耦合的深低温高精度控温装置，装置包括制冷机、氦罐、热阻片、防辐射屏组、真空罩、温度计、加热器、管路、控温仪以及常温氦储罐和真空泵；制冷机为一级冷头和二级冷头构成的二级制冷机；氦罐与常温氦储罐连接并对氦罐抽除或充氦；防辐射屏组为一级冷屏、二级冷屏和绝热屏构成的三层屏组；在恒温块上设置温度计；热阻片被夹持安装于恒温块和高热容氦罐之间；制冷机的二级冷头、氦罐、热阻片、恒温块依次串连；装置通过耦合热容法与热阻法两种热扰动传递抑制方法，同时搭配多重防辐射屏组，可将控温目标区域受外界的干扰降至亚毫开级，实现高稳定度的低温控温，可应用于低温精密环境。

主权项

1.一种热容热阻双效耦合的深低温高精度控温装置，装置包括制冷机(1)、氦罐(2)、热阻片(3)、防辐射屏组(4)、真空罩(5)、温度计(7)、加热器(11)、管路(13～16)、控温仪(18)以及常温氦储罐(19)和真空泵(20)；其特征在于：所述制冷机(1)为包括一级冷头和二级冷头构成的二级制冷机；所述氦罐(2)与外界的常温氦储罐(19)通过所述管路(13～16)连接，并对氦罐(2)抽除或者充入氦气；所述的防辐射屏组(4)为包括从外到内依次设置的一级冷屏(8)、二级冷屏(9)和绝热屏(10)的三层屏组结构；装置还包括由表面镀金处理的无氧铜构成的恒温块(6)，在所述恒温块(6)上设置温度计(7)；热阻片(3)被夹持安装于恒温块(6)和高热容氦罐(2)之间；所述制冷机(1)的二级冷头、氦罐(2)、热阻片(3)、恒温块(6)依次串连；位于最内侧的绝热屏(10)与恒温块(6)连接并包覆恒温块(6)，位于中间的二级冷屏(9)与氦罐(2)连接，位于最外侧的一级冷屏(8)与制冷机(1)的一级冷头连接；在真空罩(5)通过其筒体上设置的三个穿舱接口(17)与外部的真空泵(20)、控温仪(18)、常温氦储罐(19)和真空泵(20)连通。