[发明专利]基于光栅辅助增强调控氧化锌薄膜表面周期性结构的方法有效
| 申请号： | 201910278919.X | 申请日： | 2019-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN109822214B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 姜澜;王少君;胡洁 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | B23K26/064 | 分类号： | B23K26/064;B23K26/36;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京理工正阳知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人： | 邬晓楠 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于光栅辅助增强调控氧化锌薄膜表面周期性结构的方法，属于飞秒激光应用技术领域。本方法将飞秒激光聚焦于氧化锌薄膜表面，通过加工不同周期的预结构，基于光栅辅助增强的效应，利用飞秒激光脉冲序列的子脉冲延时控制瞬时局部材料特性，实现了周期小于100纳米的超衍射极限表面周期性结构的加工。本方法通过改变飞秒激光的参数，实现了超衍射极限表面周期性结构的精确控制形成，提高了加工精度和灵活性。对比现有方法，提高了表面周期性结构的精度，实现了灵活有效的表面周期性结构形态的调控。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光栅 辅助 增强 调控 氧化锌 薄膜 表面 周期性 结构 方法 | ||
【主权项】：
1.基于光栅辅助增强调控氧化锌薄膜表面周期性结构的方法，其特征在于：包括如下步骤：步骤一，调整光路，确保激光入射方向垂直于被加工样本表面；步骤二，调节激光能量：利用半波片‑偏振片组合调节激光能量使其略大于被加工样本的烧蚀阈值，且激光能量可以连续调节；步骤三，被加工样本固定在六维平移台上，使用成像CCD进行观察，调节六维平移台使飞秒激光脉冲聚焦于被加工样本表面；步骤四，控制激光的扫描速度在被加工样本表面加工不同周期的预结构；步骤五，通过控制飞秒激光脉冲序列的延时，在步骤四加工得到的预结构上继续加工，利用光栅辅助增强的效应，获得周期小于100纳米的超衍射极限表面周期性结构。
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