[发明专利]一种掩膜片成形结构有效
| 申请号： | 201910279375.9 | 申请日： | 2019-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN110055492B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 匡友元 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜片成形结构，包括掩膜板，包括边框区和所述边框区围成的开口区，所述边框区包括至少一第一连接部；至少一掩膜片，每一掩膜片具有至少一第二连接部；当制作至少一掩膜片时，至少一掩膜片拆卸式安装于所述掩膜板上，其中，所述第二连接部拆卸式连接于所述第一连接部本发明的有益效果在于本发明的掩膜片成形结构通过在掩膜板的边框区设置第一连接部与掩膜片上的第二连接部连接从而可以实现一块掩膜板制作不同掩膜片的目标。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 膜片 成形 结构 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜片成形结构，其特征在于，包括掩膜板，包括边框区和所述边框区围成的开口区，所述边框区包括至少一第一连接部；至少一掩膜片，每一掩膜片具有至少一第二连接部；当制作至少一掩膜片时，至少一掩膜片拆卸式安装于所述掩膜板上，其中，所述第二连接部拆卸式连接于所述第一连接部。
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