[发明专利]一种水溶液复合氧化物薄膜晶体管及其制备和应用在审
| 申请号： | 201910279855.5 | 申请日： | 2019-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN110047942A | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 李耀刚;张晨鸿;王宏志;张青红;侯成义 | 申请（专利权）人： | 东华大学 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/51;H01L21/445 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人： | 黄志达 |
| 地址： | 201620 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种水溶液复合氧化物薄膜晶体管及其制备和应用，制备：导电基底上交替旋涂氧化铝前驱体水溶液和氧化锆前驱体水溶液并热处理得到复合金属氧化物绝缘层；旋涂铟锌氧化物前驱体水溶液并热处理得到有源层；利用高真空热蒸镀铝源漏极，即得。该方法以水替代了有机溶剂制备前驱体溶液，提高了300℃以下热处理的薄膜质量，同时复合金属氧化物的组合兼顾了高介电和宽带隙两方面特性，降低了操作电压，减小了漏电流。本发明工艺简单，制备温度低，可应用于有机柔性基底，在柔性器件上将具有很大的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 热处理 复合金属氧化物 复合氧化物薄膜 制备和应用 晶体管 旋涂 制备 绝缘层 制备前驱体溶液 前驱体水溶液 氧化铝前驱体 氧化锆前驱体 铟锌氧化物 操作电压 柔性基底 柔性器件 有机溶剂 导电基 高介电 高真空 宽带隙 漏电流 热蒸镀 减小 漏极 铝源 源层 薄膜 应用 替代 | ||
【主权项】：
1.一种水溶液复合氧化物薄膜晶体管，其特征在于，所述薄膜晶体由下至上依次为栅极、绝缘层、有源层，有源层的两端分别设有源极和漏极；其中绝缘层为高介电氧化锆和宽带隙氧化铝相互堆叠组合而成的复合金属氧化物薄膜；有源层为铟锌氧化物薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东华大学，未经东华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910279855.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：阵列基板的制造方法和阵列基板
- 下一篇：一种闪存器件及其制造方法
- 同类专利
- 专利分类
