[发明专利]五自由度压电运动平台及其激励方法

摘要

本发明是超精密五自由度压电运动平台及其激励方法。本发明解决了多数多自由度超精密压电驱动器成本高昂、结构复杂以及运动行程严重受限的技术问题。所述压电运动平台由动子(1)、多输出驱动单元(2)、横向导轨(3)、纵向导轨(4)、支撑平板(5)、单输出驱动单元(6)、侧向压板(7)以及基座(8)组成，其中多输出驱动单元(2)和单输出驱动单元(6)作为主要驱动元件，依靠自身变形和摩擦力驱动动子的超精密五自由度运动。基于本发明中的激励方法，所述压电运动平台可以实现大行程和高分辨力的多自由度超精密运动。本发明中的压电运动平台结构简单紧凑，激励方法可靠易行，在多自由度超精密定位等技术领域有着广泛的应用前景。

主权项

1.一种五自由度压电运动平台，其特征是：所述运动平台包括动子(1)、多输出驱动单元(2)、横向导轨(3)、纵向导轨(4)、支撑平板(5)、单输出驱动单元(6)、侧向压板(7)以及基座(8)；/n所述多输出驱动单元(2)包括上侧驱动足(2-1)、上侧双向弯曲单元(2-2)、固定夹块(2-3)、下侧双向弯曲单元(2-4)以及下侧驱动足(2-5)；/n所述单输出驱动单元(6)包括压电陶瓷片(6-1)以及中间驱动足(6-2)；/n所述上侧驱动足(2-1)、上侧双向弯曲单元(2-2)、固定夹块(2-3)、下侧双向弯曲单元(2-4)以及下侧驱动足(2-5)沿多输出驱动单元(2)的轴向方向从上到下依次布置且保持固定连接，所述中间驱动足(6-2)布置在压电陶瓷片(6-1)之间且保持固定连接，侧向压板(7)与基座(8)之间保持固定连接，单输出驱动单元(6)与支撑平板(5)之间保持固定连接，固定夹块(2-3)与纵向导轨(4)滑动连接，横向导轨(3)与支撑平板(5)固定连接，横向导轨(3)与纵向导轨(4)分别沿水平方向和纵深方向交叉布置并滑动连接；/n所述动子(1)接触压紧在上侧驱动足(2-1)上表面，下侧驱动足(2-5)接触压紧在支撑平板(5)上表面，中间驱动足(6-2)接触压紧在侧向压板(7)的侧面；/n所述基座(8)保持固定，所述动子(1)输出五自由度运动。/n