[发明专利]晶片取放设备

摘要

一种晶片取放设备，包含用于供治具滑行的第一轨道与第二轨道、用于承载载具的第三轨道与第四轨道、用于将位于所述第一轨道的所述治具的承载盘上的晶片取出并置放于位于所述第三轨道的载具上的第一取放单元，以及用于将位于所述第四轨道的载具上的晶片取出并置放于位于所述第二轨道的所述治具的承载盘上的第二取放单元，借此同时地输送治具与接收治具，且所述晶片取放设备还包含用于搬移所述治具的盖板的第一搬移单元，以及用于搬移所述治具的承载盘的第二搬移单元，借此能将自所述湿式处理设备接收的治具再次输送至所述湿式处理设备。

主权项

1.一种晶片取放设备，适用于将多个晶片自载具取出并置放于治具且将所述治具输送至湿式处理设备，以及自所述湿式处理设备接收所述治具且将所述晶片自所述治具取出并置放于所述载具，所述治具包括用于承载所述晶片的承载盘，以及盖设于所述承载盘的盖板；其特征在于，所述晶片取放设备包含：工作台；治具运输单元，包括设于所述工作台且用于供所述治具滑行的第一轨道与第二轨道，以及设于所述第一轨道与所述第二轨道以使所述治具在所述第一轨道与所述第二轨道上滑动的多个驱动模块，所述第一轨道具有第一入口段、相反于所述第一入口段的第一出口段、位于所述第一入口段与所述第一出口段之间的盖板回收段，以及位于所述盖板回收段与所述第一出口段之间的晶片回收段，所述第二轨道具有邻近于所述第一出口段的第二入口段、相反于所述第二入口段且邻近于所述第一入口段的第二出口段、位于所述第二入口段与所述第二出口段之间的晶片置放段，以及位于所述晶片置放段与所述第二出口段之间的盖板置放段，其中所述第一入口段与所述第二出口段分别用于连接于所述湿式处理设备的输出端与输入端；载具运输单元，包括设于所述工作台且用于承载所述载具的第三轨道与第四轨道；第一取放单元，设于所述工作台且用于将位于所述第一轨道的晶片回收段的所述治具的承载盘上的晶片取出并置放于位于所述第三轨道的载具上；第二取放单元，设于所述工作台且用于将位于所述第四轨道的载具上的晶片取出并置放于位于所述第二轨道的晶片置放段的所述治具的承载盘上；第一搬移单元，设于所述工作台且用于将位于所述第一轨道的盖板回收段的所述治具的盖板搬移至位于所述第二轨道的盖板置放段的所述治具的承载盘上；以及第二搬移单元，设于所述工作台且用于将位于所述第一轨道的第一出口段的所述治具的承载盘搬移至所述第二轨道的第二入口段。