[发明专利]一种超薄原子力显微镜测头有效
| 申请号： | 201910280691.8 | 申请日： | 2019-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN110045153B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 吴森;卢念航;胡晓东 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G01Q60/38 |
| 代理公司： | 天津创智天诚知识产权代理事务所(普通合伙) 12214 | 代理人： | 李蕊 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超薄原子力显微镜测头，该原子力显微镜测头采用一种超薄探针固定模块，探针固定模块包括：悬臂梁探针、压电陶瓷、探针夹持器、第一反射面、第一反射装置和第二反射装置，悬臂梁探针安装在探针夹持器中，悬臂梁探针的针尖位于探针固定模块的最低处，第一反射面位于悬臂梁探针的一侧，第一反射装置位于悬臂梁探针和第一反射面之间，第二反射装置位于悬臂梁探针和激光器之间，第三激光束被第二反射装置反射后从探针固定模块射出并形成第四激光束。本发明原子力显微镜测头中探针固定模块的Z向有效厚度仅为数毫米，可直接安装在工作距离大于该厚度的光学或电子显微镜下实现不同设备的集成联用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超薄 原子 显微镜 | ||
【主权项】：
1.一种探针固定模块，其特征在于，包括：悬臂梁探针(1)、压电陶瓷(2)、探针夹持器(3)、第一反射面(4)、第一反射装置和第二反射装置，所述悬臂梁探针(1)安装在探针夹持器(3)中，悬臂梁探针(1)的针尖位于探针固定模块(Ⅰ)的最低处，所述第一反射面(4)位于所述悬臂梁探针(1)的一侧，用于接收位于所述悬臂梁探针(1)另一侧的激光器(10)发射的第一激光束并将该第一激光束反射形成第二激光束，所述第一反射面(4)与所述第一激光束之间所夹锐角为60～67.5°；所述第一反射装置位于所述悬臂梁探针(1)和所述第一反射面(4)之间，第二激光束被第一反射装置反射后照射在所述悬臂梁探针(1)上并被悬臂梁探针(1)反射形成第三激光束；所述第二反射装置位于所述悬臂梁探针(1)和所述激光器(10)之间，所述第三激光束被所述第二反射装置反射后从所述探针固定模块(Ⅰ)射出并形成第四激光束。
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