[发明专利]一种超精密三轴旋转压电调姿机构及其激励方法

摘要

本发明公开了一种超精密三轴旋转压电调姿机构及其激励方法，属于压电驱动技术领域。解决了现有压电调姿机构自由度数不足、结构复杂、成本较高以及精度不足的技术问题。所述压电调姿机构由动子、驱动单元以及基座组成，其中驱动单元采用贴片式压电双晶梁结构或夹心式压电振子结构，并依靠其弯曲变形驱动动子的三轴旋转运动。基于本发明中的激励方法，所述动子可以实现大尺度超精密三轴旋转运动，通过调整激励信号的幅值和时间可以实现纳米级分辨力。本发明中的压电调姿机构结构紧凑、布置灵活，激励方法简单可靠，在超精密姿态调整等领域中具有较好的应用前景。