[发明专利]一种溅镀设备及其传送机构的停复方法

摘要

一种溅镀设备及其传送机构的停复方法，包括功能腔室、传送机构和防护门，所述功能腔室设置于所述传送机构侧面，在所述传送机构两侧设置有两个防护门，并在两个所述防护门上均设置一键停止按钮和一键启动按钮来控制所述传送机构的启停，同时只有在完全停止所述传送机构后才能开启所述防护门；有益效果：通过在两个所述防护门上设置一键停复按钮，可以在工作人员穿行所述传送机构时做到一键启停所述传送机构，保证了工作人员的安全并缩短溅镀机保养和维修时导致生产停止的时间。

主权项

1.一种溅镀设备，其特征在于，包括：至少一个功能腔室，所述功能腔室为溅镀室和/或电源设备室；传送机构，为传送产品至溅镀机的装置，且所述功能腔室设置于所述传送机构侧面；内防护门，设置于所述传送机构的一侧，且位于所述功能腔室与所述传送机构之间，所述内防护门上设置有一键启动按钮和一键停止按钮；外防护门，设置于所述传送机构的另一侧，所述外防护门上同样设置有一键启动按钮和一键停止按钮。