[发明专利]一种高强高韧碳化硅陶瓷载盘、制造方法及应用在审
| 申请号： | 201910283252.2 | 申请日： | 2019-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN109809822A | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 闫永杰 | 申请（专利权）人： | 南通三责精密陶瓷有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/577 | 分类号： | C04B35/577;C04B35/81;C04B35/622;C04B35/634;B24B37/27 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 王雨桐 |
| 地址： | 226000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高强高韧碳化硅陶瓷载盘、制造方法及应用，碳化硅陶瓷载盘的制作材料包括以下质量份的成分：碳化硅70～95份；碳化硅晶须2～10份；碳化钨1～15份；碳化硼0.5～5份；粘结剂1～10份；润滑剂0.5～10份。制造方法包括配料混料、制浆、喷雾干燥、等静压成型、烧结及精加工。碳化硅陶瓷载盘应用于装配化学机械抛光装置。本发明制造的碳化硅陶瓷载盘，强度和韧性大大优于目前常用的刚玉陶瓷载盘；相同尺寸的陶瓷载盘，厚度能降低1/3；该陶瓷载盘应用于化学机械抛光装置，能够大大提高抛光过程中的稳定性，同时在操作的过程中可靠性大幅增加，大大提高了陶瓷载盘的使用寿命，降低了工艺制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 载盘 碳化硅陶瓷 化学机械抛光装置 陶瓷 应用 制造 工艺制造成本 等静压成型 碳化硅晶须 刚玉陶瓷 抛光过程 喷雾干燥 使用寿命 制作材料 烧结 精加工 润滑剂 碳化硅 碳化硼 碳化钨 粘结剂 质量份 混料 制浆 装配 | ||
【主权项】：
1.一种高强高韧碳化硅陶瓷载盘，其特征在于：所述碳化硅陶瓷载盘的制作材料包括以下质量份的成分：碳化硅70～95份；碳化硅晶须2～10份；碳化钨1～15份；碳化硼0.5～5份；粘结剂1～10份；润滑剂0.5～10份。
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