[发明专利]一种光斑关键参数的测量装置和测量方法在审
| 申请号： | 201910285503.0 | 申请日： | 2019-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN109959502A | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 侯国辉;李向召;黄志凡;李名兆;杜岚;郑欢欢 | 申请（专利权）人： | 深圳市计量质量检测研究院（国家高新技术计量站;国家数字电子产品质量监督检验中心） |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 胡玉 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光斑关键参数的测量装置和测量方法，所述光斑关键参数测量装置包括位移台和位于位移台上的一维线振光学传感器，所述位移台包括X方向位移构件和与光传播方向一致的Z方向位移构件，所述X方向位移构件和Z方向位移构件相连，所述位移台驱动一维线振光学传感器沿X和/或Z方向移动，所述一维线振光学传感器的线振方向垂直于X方向位移构件的移动方向。采用本发明的技术方案，使用线阵光学传感器结合位移台，通过快速线扫描的方式实现对特定位置的大尺寸光斑的测量，可以准确的获得扫描维度方向的光斑中心位置与光斑尺寸，同时不会受限于探测位置光斑尺寸的限制。 | ||
| 搜索关键词： | 光斑 光学传感器 位移台 测量装置 关键参数 测量 扫描 关键参数测量 光斑中心位置 光传播方向 尺寸光斑 方向垂直 探测位置 移动方向 快速线 受限 维度 线阵 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种光斑关键参数的测量装置，其特征在于：其包括位移台和位于位移台上的一维线振光学传感器，所述位移台包括X方向位移构件和与光传播方向一致的Z方向位移构件，所述X方向位移构件和Z方向位移构件相连，所述位移台驱动一维线振光学传感器沿X和/或Z方向移动，所述一维线振光学传感器的线振方向垂直于X方向位移构件的移动方向。
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