[发明专利]基于光学微腔机械模式的检测系统、调试系统及传感器有效
| 申请号： | 201910285733.7 | 申请日： | 2019-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN109990975B | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 郅燕燕;关柏鸥;肖云峰;俞骁翀;陈豪敬 | 申请（专利权）人： | 暨南大学 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 510632 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种基于光学微腔机械模式的检测系统、调试系统及传感器。该检测系统包括激光发射装置、耦合波导、微腔、光电转换装置和数据处理装置；其中，耦合波导连接于激光发射装置与光电转换装置之间，用于提供倏逝场，并在倏逝场与微腔的回音壁模式发生临界耦合时，将激光耦合至回音壁模式，以激发微腔的机械模式；微腔与耦合波导之间具有至少一个接触点，用于为耦合波导提供支撑力；数据处理装置，用于在倏逝场与微腔的回音壁模式发生临界耦合后，确定微腔的机械模式的变化量，并通过该变化量确定待测物体信息，实现微腔为耦合波导提供一定程度的支撑，可以激发稳定的机械模式，从而压制实验噪声，得到更低的检测极限。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光学 机械 模式 检测 系统 调试 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种基于光学微腔机械模式的检测系统，其特征在于，包括：激光发射装置、耦合波导、微腔、光电转换装置和数据处理装置；所述激光发射装置，用于发射设定波长的激光，其中，所述激光的波长根据所述激光与所述微腔的回音壁模式之间的失谐频率确定；所述耦合波导连接于所述激光发射装置与所述光电转换装置之间，用于提供倏逝场，并在所述倏逝场与所述微腔的回音壁模式发生临界耦合时，将所述激光耦合至所述回音壁模式，以激发所述微腔的机械模式；所述微腔与所述耦合波导之间具有至少一个接触点，用于为所述耦合波导提供支撑力；所述光电转换装置与所述数据处理装置电连接，用于将所述耦合波导内传输的光信号转换为电信号，并将所述电信号输出至所述数据处理装置；所述数据处理装置，用于在所述倏逝场与所述微腔的回音壁模式发生临界耦合后，根据所述电信号确定所述微腔的机械模式的变化量，并通过所述变化量确定待测物体信息。
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