[发明专利]一种直线递进式多级杆离子聚焦传输设备及装置

摘要

本发明公开了一种直线递进式多级杆离子聚焦传输设备，包括离子源部件、离子透镜部件、聚焦部件、分析器部件以及检测器部件，所述聚焦部件包括多个直线排布的聚焦单元；离子透镜部件、第一聚焦单元、第二聚焦单元直至第n聚焦单元、分析器部件都与真空系统进行联结，工作状态下形成内部真空室，第一聚焦单元直至第n聚焦单元内部安装有多级杆离子聚焦传输部件，多级杆离子聚焦传输部件包含入口大且出口小及所述入口口径至所述出口口径平滑递减的多级杆聚焦结构；本发明使得机构制作简易方便，进一步降低整体设备的体积及成本，更能提高离子聚焦能力，提升最终的检测灵敏度，同时较单个使用相应的聚焦结构，能够大大降低其整体体积。

主权项

1.一种直线递进式多级杆离子聚焦传输设备，其特征在于，包括位于第一顺位的离子源部件、第二顺位的离子透镜部件、位于第三顺位的聚焦部件、位于第四顺位的分析器部件以及位于第五顺位的检测器部件，所述聚焦部件包括多个直线排布的聚焦单元，即第一聚焦单元、第二聚焦单元至第n聚焦单元，所述离子源部件与所述离子透镜部件之间安装有设置了通过所述离子源部件产生的离子束的第一通孔的第一隔板，所述离子透镜部件与所述聚焦部件之间安装有设置了通过经所述离子透镜聚焦的离子束的第二通孔的第二隔板，所述第一聚焦单元与所述第二聚焦单元之间安装有设置了通过经所述第一聚焦单元的离子束的第一聚焦通孔的第一聚焦隔板，所述第二聚焦单元与所述第三聚焦单元之间安装有设置了通过经所述第二聚焦单元的离子束的第二聚焦通孔的第二聚焦隔板，直至，所述第（n‑1）聚焦单元与所述第n聚焦单元之间安装有设置了通过经所述第（n‑1）聚焦单元的离子束的第（n‑1）聚焦通孔的第（n‑1）聚焦隔板，所述第n聚焦单元与所述检测器部件之间安装有设置了通过经所述第n聚焦单元的离子束的第n聚焦通孔的第n聚焦隔板，所述检测器部件和所述分析器部件之间安装有设置了通过来自所述分析器部件的离子束的第四通孔的第四隔板；所述离子透镜部件、所述第一聚焦单元、第二聚焦单元直至第n聚焦单元、所述分析器部件都与真空系统进行联结，工作状态下形成内部真空室，所述第一聚焦单元直至所述第n聚焦单元内部安装有多级杆离子聚焦传输部件，所述多级杆离子聚焦传输部件包含入口大且出口小及所述入口口径至所述出口口径平滑递减的多级杆聚焦结构；所述离子源部件发射离子束，通过第一通孔进入所述离子透镜部件内部的真空室，经所述离子透镜部件进行聚焦后，通过所述第二通孔进入所述聚焦部件中的所述第一聚焦单元的真空室，所述第二隔板与所述入口、所述出口与所述第三个板之间具有间隙，所述第二通孔的孔径根据离子束形成的直径进行设定，所述离子束经过直线排布的多个所述多级杆聚焦结构进行聚焦通过所述第n聚焦通孔射出，所述第n聚焦通孔的口径根据所述射出所述出口的离子束进行设定，并经所述第n聚焦通孔进入所述分析器部件及第五顺位的所述检测器部件进行分析及检测。