[发明专利]一种用于电光调控的三维集成的微纳器件及其制备方法有效
| 申请号： | 201910286095.0 | 申请日： | 2019-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN111812067B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 赵永生;刘营营 | 申请（专利权）人： | 中国科学院化学研究所 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64 |
| 代理公司： | 北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11535 | 代理人： | 刘元霞;谢怡婷 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于电光调控的三维集成的微纳器件，所述器件包括具有热光响应特质的带支撑结构的有机微纳激光，和位于所述有机微纳激光下方与之相集成的金属加热微环；所述有机微纳激光与所述金属加热微环形成以有机微纳激光为主体，金属加热微环为电调控单元的三维集成的微纳光电器件；本发明的三维集成的微纳器件可以应用于实现微纳尺度高通量信息光源，或应用于实现三维集成回路中电调控波长的微纳相干信息光源，或应用于芯片三维光电混合集成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 电光 调控 三维 集成 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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