[发明专利]一种折弯型多级杆离子聚焦传输部件在审

专利信息
申请号: 201910286638.9 申请日: 2019-04-10
公开(公告)号: CN109994366A 公开(公告)日: 2019-07-09
发明(设计)人: 应刚;周专;张相明;姜永泽;周立 申请(专利权)人: 江苏天瑞仪器股份有限公司
主分类号: H01J49/06 分类号: H01J49/06;H01J49/26
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215347 江苏省苏州市昆*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种折弯型多级杆离子聚焦传输部件,包括多根成中心对称分布且形成折弯空间结构的折弯型导电杆,支撑座,折弯型导电杆包括平直段和折弯段,平直段为圆柱型结构或锥形结构,折弯段为圆柱型结构或锥形结构,平直段的顶端面为折弯段的底端面,折弯段的顶端向中轴线汇聚形成围绕中轴线成中心对称分布结构,折弯空间结构形成入口口径大且出口口径小的折弯空间结构;本发明不仅能使折弯型空间结构的场强进一步增加,而且可以使出口尺寸进一步减小,这又增强了离子聚焦性能,同时,由于出口尺寸的进一步减小,还可以进一步降低检测的背景,提升检测的整体灵敏度,由于平直段的存在,可以使高速进入的离子束等能够进一步稳定,更好的进行下一步的聚焦。
搜索关键词: 空间结构 折弯型 平直段 折弯段 折弯 离子 中心对称分布 圆柱型结构 传输部件 锥形结构 聚焦 导电杆 多级杆 中轴线 减小 场强 整体灵敏度 出口口径 聚焦性能 入口口径 底端面 顶端面 离子束 支撑座 检测 出口 汇聚
【主权项】:
1.一种折弯型多级杆离子聚焦传输部件,包括多根折弯型导电杆,支撑座,多根所述折弯型导电杆围绕中轴线成中心对称分布且形成内部具有开放式腔室的折弯空间结构,所示折弯型导电杆包括平直段和折弯段,所示平直段为圆柱型结构或锥形结构,所示折弯段为圆柱型结构或锥形结构,所述平直段的顶端面为所述折弯段的底端面,所述折弯段的顶端向所述中轴线汇聚形成围绕所述中轴线成中心对称分布结构,所述折弯空间结构形成入口口径大且出口口径小的折弯空间结构;所述支撑座包括固定件、第一导电极板和第二导电极板,所述第一导电极板和所述第二导电极板固定安装在所述固定件上,多根所述折弯型导电杆固定联结在所述固定件的中空孔内侧,所述第一导电极板和所述第二导电极板联结外部电源,所述折弯型导电杆与所述第一导电极板和所述第二导电极板形成所述开放式腔室内部高频电场和轴向梯度电场的依次联结。
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