[发明专利]一种非接触光学元件表面面形测量装置及方法在审
| 申请号： | 201910287491.5 | 申请日： | 2019-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN109974583A | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 李潇潇;张志恒;张效宇;曹杰君;曹兆楼;咸冯林 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/25;G01B5/20;G01B5/004;G01B11/03;G01B11/06;G01B5/06 |
| 代理公司： | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人： | 上官凤栖 |
| 地址： | 211500 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种非接触光学元件表面面形测量装置及方法，包括上位机、电子控制模块、探头支撑结构、光学探头、待测元件、元件夹持装置、Z轴电动平移台、千分表及XY轴电动平移台。光学探头向待测元件表面投影聚焦光点，光点反射回物镜后通过三孔光阑形成三孔亮斑。由于亮斑之间距离与光点高度位置有关，因此实时采集图像计算亮斑之间距离可获得表面厚度。为了增加高度测量范围，使用Z轴电动平移台上下移动待测元件并使用千分表测量元件位置。相比传统的接触式面形测量系统，本发明具有非接触的优点，可避免影响元件表面并同时获得大测量范围及高精度。 | ||
| 搜索关键词： | 待测元件 面形测量 非接触 亮斑 光学元件表面 电动平移台 光学探头 千分表 光点 三孔 测量 电子控制模块 表面投影 电动平移 高度测量 高度位置 夹持装置 聚焦光点 实时采集 图像计算 影响元件 元件位置 支撑结构 传统的 接触式 上位机 探头 光阑 物镜 反射 移动 | ||
【主权项】：
1.一种非接触光学元件表面面形测量装置，其特征在于，包括：上位机（1）、电子控制模块（2）、探头支撑结构（3）、光学探头（4）、待测元件（5）、元件夹持装置（6）、Z轴电动平移台（7）、千分表（8）及XY轴电动平移台（9）；所述上位机（1）发送指令至电子控制模块（2），所述电子控制模块（2）接收上位机（1）的指令，控制光学探头（4）、Z轴电动平移台（7）和XY轴电动平移台（9）的工作；所述光学探头（4）安装在探头支撑结构（3）上，所述待测元件（5）安装在元件夹持装置（6）上，光学探头（4）和待测元件（5）上下相对设置，光学探头（4）向待测元件（5）表面投影聚焦光点，采集光点图像，并传输至上位机（1）；所述元件夹持装置（6）与Z轴电动平移台（7）相连，通过Z轴电动平移台（7）在垂直方向移动待测元件（5）；所述Z轴电动平移台（7）上安装有千分表（8），用于测量待测元件（5）的位置，并传输至上位机（1）；Z轴电动平移台（7）安装在XY轴电动平移台（9）上，通过XY轴电动平移台（9）在水平方向移动待测元件（5），Z轴电动平移台（7）和XY轴电动平移台（9）均使用步进电机进行驱动。
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