[发明专利]一种用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置有效
| 申请号： | 201910290196.5 | 申请日： | 2019-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN110039380B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 姜晨;钱大兵;姜臻禹;林文鑫;彭涛 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B19/02 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 郁旦蓉 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 根据本发明所涉及的一种用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置，因为包括与磁性复合流体供给装置相连通储液筒以及设置在储液筒的外部的固液转化部，固液转化部包含沿储液筒的长度方向依次设置的m个固液转化单元，m个固液转化单元分别与m个微沟槽相对应，每个固液转化单元含有n个固液转化管道以及n个励磁线圈，n个固液转化管道且分别与储液筒相连通，当来自磁性复合流体供给装置的磁性复合流体经储液筒流过固液转化管道时，磁性复合流体在固液转化管道的出口处形成抛光磨粒，抛光磨粒用于对m个微沟槽同时进行抛光。所以，本发明中的一种用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置，能够同时抛光多个微沟槽。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 周期性 沟槽 结构 抛光 磁性 复合 流体 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置，和磁性复合流体供给装置相连接，用于利用磁性复合流体供给装置供给的磁性复合流体对工件上间隔设置的m个微沟槽同时进行抛光，其特征在于，包括：储液筒，与所述磁性复合流体供给装置相连通；以及固液转化部，设置在所述储液筒的外部；其中，所述固液转化部包含沿所述储液筒的长度方向依次设置的m个固液转化单元，该m个固液转化单元分别与m个所述微沟槽相对应，每个所述固液转化单元含有n个固液转化管道以及n个励磁线圈，n个所述固液转化管道沿所述储液筒的周向设置且分别与所述储液筒相连通，每一个所述励磁线圈设置在相邻的所述固液转化管道之间，当来自所述磁性复合流体供给装置的所述磁性复合流体经所述储液筒流过所述固液转化管道时，该磁性复合流体在所述励磁线圈所形成的磁场作用下由流体状态转化为固体状态从而在所述固液转化管道的出口处形成抛光磨粒，该抛光磨粒用于对m个所述微沟槽同时进行抛光，所述m为不小于2的正整数，所述n为不小于2的正整数。
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