[发明专利]石墨烯透明导电电极及其制备方法和装置在审

专利信息
申请号: 201910290662.X 申请日: 2019-04-11
公开(公告)号: CN111816775A 公开(公告)日: 2020-10-23
发明(设计)人: 李静文;刘琦 申请(专利权)人: 东泰高科装备科技有限公司
主分类号: H01L51/44 分类号: H01L51/44;H01L51/48;C01B32/186;C01B32/194
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 白雪
地址: 102209 北京市昌平*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种石墨烯透明导电电极及其制备方法和装置。上述制备方法包括:S1,采用CVD法在金属箔表面沉积石墨烯薄膜,形成预备膜;S2,采用热辊辊压方式将透明柔性基底贴合在预备膜中的石墨烯薄膜表面,形成中间膜;S3,采用送料辊将中间膜传输至醇/水混合溶液中,然后利用分离辊将中间膜中的石墨烯薄膜和透明柔性基底的结合体从金属箔表面剥离,得到结合体;S4,干燥结合体,即可得到石墨烯透明导电电极。利用本发明提供的方法可以大面积、低成本地制备出高性能的石墨烯透明导电薄膜电极。
搜索关键词: 石墨 透明 导电 电极 及其 制备 方法 装置
【主权项】:
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