[发明专利]一种基于寄生惯性原理的压电直线精密驱动装置有效
| 申请号： | 201910291765.8 | 申请日： | 2019-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN110798094B | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 万嫩;李建平;温建明 | 申请（专利权）人： | 浙江师范大学 |
| 主分类号： | H02N2/02 | 分类号： | H02N2/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 321004 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于寄生惯性原理的压电直线精密驱动装置，包括压电叠堆、非对称薄壁式柔性铰链机构、动子、预紧螺钉、预紧楔块和底座。压电叠堆在电压信号驱动下可伸长和恢复，非对称薄壁式柔性铰链机构可实现寄生惯性运动；预紧螺钉调节非对称薄壁式柔性铰链机构与动子间的初始预紧力；底座支撑其他零件。本发明压电叠堆主输出方向与动子运动方向垂直设计，使压电叠堆主输出方向的刚度得到充分利用；非对称薄壁式柔性铰链机构结构简单，能承受较大负载，提高了驱动装置的输出负载，通过它的寄生惯性运动可实现直线运动驱动。该装置可应用于精密超精密机械加工、微机电系统、微操作机器人、大规模集成电路制造、生物技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 寄生 惯性 原理 压电 直线 精密 驱动 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基于寄生惯性原理的新型压电直线精密驱动装置，包括动子(1)、压电叠堆(2)、预紧楔块(3)、预紧螺钉(4)、非对称薄壁式柔性铰链机构(5)和底座(6)，其特征在于：所述精密驱动装置利用寄生惯性原理实现微纳米级直线精密驱动。动子(1)采用带有滑块的高精度直线导轨，导轨通过螺钉固定在底座(6)上，用以实现高精度的直线运动；非对称薄壁式柔性铰链机构(5)通过螺钉安装在底座(6)上；压电叠堆(2)安装于非对称薄壁式柔性铰链机构(5)内，可通过预紧楔块(3)进行预紧；预紧螺钉(4)可调节非对称薄壁式柔性铰链机构(5)与动子(1)之间的初始预紧力；所述精密驱动装置通过控制压电叠堆(2)驱动非对称薄壁式柔性铰链机构(5)实现寄生惯性运动，进而驱动动子(1)实现步进式直线精密运动。/n
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