[发明专利]一种金刚石-铝复合材料的磁控溅射镀膜方法

摘要

本发明涉及一种金刚石‑铝复合材料的磁控溅射镀膜方法。该磁控溅射镀膜方法的操作步骤如下：1.用砂纸研磨复合材料表面，之后将其放入无水乙醇中超声清洗干净；2.将样品放入超高真空磁控溅射设备中，先溅射一层金属铬，厚度为200～500nm，再溅射一层金属铜，厚度为1～2μm；3.进行镀后热处理，增加镀层与复合材料的界面结合强度。采用本发明的磁控溅射镀膜方法，可确保镀层与复合材料基体间的界面结合力强、界面热阻小，为常规的后续镀镍工艺带来方便，并可有效防止镀镍时复合材料与水接触所导致的性能衰退。镀镍后按照SJ20130‑92《金属镀层附着强度试验方法》中热震试验标准，在250℃以上热震循环10次后无起泡现象与裂纹产生。

主权项

1.一种金刚石‑铝复合材料的磁控溅射镀膜方法，其特征在于具体步骤如下：1)对金刚石‑铝复合材料进行前处理，包括研磨和超声清洗；2)采用超高真空磁控溅射设备，将铬靶和铜靶安装于磁控靶上，将清洗后的金刚石‑铝复合材料放置于加热台面上，调整复合材料基片与靶材的间距；3)盖上真空腔盖，抽取真空，再通入氩气；选取直流磁控溅射模式，对样品先进行磁控溅射镀铬，再进行磁控溅射镀铜；4)磁控溅射镀铜后，使腔体冷却一段时间，停止通入氩气，打开放气阀，待台面温度冷却至室温时取出样品；5)退火处理：将镀好铜的复合材料放入管式炉中进行退火处理，随炉冷却后取出。