[发明专利]一种基于非对称三角形柔性铰链机构的压电驱动平台

摘要

本发明涉及一种基于非对称三角形圆弧式柔性铰链机构的新型高效压电旋转精密驱动平台，由两组压电叠堆、两组非对称三角形圆弧式柔性铰链机构、转子、预紧螺钉、预紧楔块和底座组成。压电叠堆在电压信号驱动下可伸长和恢复；两组非对称三角形圆弧式柔性铰链机构可实现寄生惯性运动；预紧螺钉和预紧楔块调节非对称三角形圆弧式柔性铰链机构与转子间的初始预紧力；底座起支撑作用。本发明两个压电叠堆在电压时序控制下，交替驱动，可消除转子回退现象，提高了平台输出性能。该平台可驱动转子实现高效旋转运动，可应用于精密超精密机械加工、微机电系统、微操作机器人、大规模集成电路制造、生物技术领域。