[发明专利]一种基于织构化高温压电陶瓷的多层陶瓷致动器在审
| 申请号： | 201910293235.7 | 申请日： | 2019-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN109836150A | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 陈朗;马晓姿;袁国亮 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | C04B35/472 | 分类号： | C04B35/472;C04B35/50;C04B35/64;H01L41/083;H01L41/187;H01L41/273 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于织构化高温压电陶瓷的多层陶瓷致动器，所述织构化高温压电陶瓷具体包括<001>晶向的PbTiO3模板晶体材料、钪酸铋钛酸铅高温压电基体材料；所述钪酸铋钛酸铅高温压电基体材料的通式为xBiScO3‑(1‑x)PbTiO3，并且0.3≤x≤0.5；所述多层陶瓷致动器的制备流程包括：先制备出高温煅烧的钪酸铋钛酸铅高温压电陶瓷粉体，然后将钪酸铋钛酸铅高温压电陶瓷粉体、PbTiO3模板晶体材料和CuO助烧剂混合，并利用流延技术制成压电陶瓷膜片，经叠片、热压、排胶、烧制等工艺，最后引出外电极进行极化，即可得到该织构化多层陶瓷致动器。所述的基于织构化高温压电陶瓷的多层陶瓷致动器适用于25℃至280℃的工作温度范围，且在200V驱动电压下的应变量最高可达3.84‰。 | ||
| 搜索关键词： | 高温压电陶瓷 多层陶瓷 织构化 致动器 钛酸铅 钪酸铋 晶体材料 压电基体 粉体 制备 压电陶瓷膜片 高温煅烧 流延技术 驱动电压 外电极 应变量 助烧剂 极化 叠片 晶向 排胶 热压 烧制 | ||
【主权项】：
1.一种基于织构化高温压电陶瓷的多层陶瓷致动器，其特征在于，包括：一种织构化钪酸铋钛酸铅高温压电陶瓷；一种CuO低温助烧剂；该陶瓷与导电电极在低于或等于950℃共烧形成内部电极。
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